特許
J-GLOBAL ID:200903095255683450
ストッカ用ロボット
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
梶 良之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-069002
公開番号(公開出願番号):特開2002-265011
出願日: 2001年03月12日
公開日(公表日): 2002年09月18日
要約:
【要約】【課題】 駆動装置を必要とせずにキャリアの落下を確実に防止できるストッカ用ロボットを提供することを目的とする。【解決手段】 キャリア10を保管する保管棚52に向かって伸縮自在で、キャリア10を積載可能なハンド部2と、ハンド部2が先端に水平回転可能に取り付けられた第1アーム部3と、第1アーム部3を水平回転可能に支持する第2アーム部4とからなる搬送アーム1を有し、保管棚52にハンド部2が挿入されるように搬送アーム1が伸長した伸長位置と、搬送アーム1が折りたたまれるように縮退した縮退位置との間で伸縮動作を行うものであり、伸長位置においては、ハンド部2の上面にキャリア10を載せるように支持し、縮退位置においては、第1アーム部3に取り付けられ、ハンド部2に積載されたキャリア10と第1アーム部3との縮退動作時における位置関係の変化に伴って、キャリア10を直接把持、あるいは、ハンド部2またはキャリア10に設けられた係止手段を助勢するようにキャリア10を把持するキャリア落下防止手段を有することを特徴とする。
請求項(抜粋):
半導体部品用キャリアを保管する保管部を上下左右に多数列設した保管棚に対して、所定の保管部に前記キャリアを搬入または搬出するストッカ用ロボットであって、前記保管棚に沿って走行自在且つ昇降自在な移動体と、この移動体に設けられ、前期保管棚に向かって伸縮自在な搬送アームとを備え、前記搬送アームは、半導体部品用キャリアを積載可能なハンド部と、該ハンド部が先端に水平回転可能に取り付けられた第1アーム部と、該第1アーム部を水平回転可能に支持する第2アーム部とからなるリンク機構を有し、該第2アーム部の一端が前記移動体に対して水平回転可能に支持されるものであって、前記保管部内に前記ハンド部が挿入されるように前記搬送アームが伸長し、半導体部品用キャリアを積み下ろし及び積載動作が可能な伸長位置と、前記移動体側に前記搬送アームが折りたたまれるように前記保管棚に対して縮退し、前記移動体による半導体部品用キャリアの移動搬送が行われる縮退位置と、の間で伸縮動作を行うものであり、前記伸長位置においては、前記ハンド部の上面に半導体部品用キャリアを載せるように支持し、前記縮退位置においては、前記第1アーム部に取り付けられ、前記ハンド部に積載された半導体部品用キャリアと前記第1アーム部との縮退動作時における位置関係の変化に伴って、半導体部品用キャリアを直接把持、あるいは、前記ハンド部または半導体部品用キャリアに設けられた係止手段を助勢するように半導体部品用キャリアを把持する半導体部品用キャリア落下防止手段を有することを特徴とするストッカ用ロボット。
IPC (5件):
B65G 1/04 515
, B25J 9/06
, B65G 49/07
, H01L 21/68
, B25J 15/00
FI (7件):
B65G 1/04 515 A
, B25J 9/06 D
, B65G 49/07 E
, B65G 49/07 F
, B65G 49/07 L
, H01L 21/68 A
, B25J 15/00 A
Fターム (35件):
3C007AS01
, 3C007BS15
, 3C007CS04
, 3C007CV07
, 3C007CW07
, 3C007DS01
, 3C007ES02
, 3C007ET08
, 3C007EU09
, 3C007EU12
, 3C007EV07
, 3C007EV13
, 3C007HT02
, 3C007HT03
, 3C007HT08
, 3C007HT11
, 3C007HT21
, 3C007LV04
, 3C007LV07
, 3C007MS12
, 3C007MT04
, 3F022AA08
, 3F022CC02
, 3F022EE05
, 3F022FF01
, 3F022JJ09
, 3F022KK11
, 3F022MM67
, 5F031DA08
, 5F031DA12
, 5F031DA17
, 5F031FA01
, 5F031FA03
, 5F031GA02
, 5F031GA43
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