特許

J-GLOBAL ID：200903095260265934

差動変圧型検出装置、検出方法及び校正ゲージ

発明者： 鎌田 豊稔
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 田村 敬二郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-078929
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275004
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 ナイフエッジ形状の触針を使用した場合に、正確かつ精度よく円柱等の母線等の輪郭測定、多角形等の稜線上の真直度、粗さ測定または長さ測定のできる差動変圧型検出装置、検出方法及び校正ゲージを提供する。【解決手段】 この差動変圧型検出装置21は、被測定物に対し相対移動する際の移動方向と直行する方向に幅のあるエッジを有するナイフエッジ部材28と、ナイフエッジ部材を支持するとともに被測定物と接触するエッジにおける変位を移動方向に相対移動して測定する差動変圧型検出器13と、差動変圧型検出器をナイフエッジ部材とともに被測定物に対しエッジが円弧運動するように回転させる回転調整機構35とを具備する。

請求項（抜粋）：

被測定物に対し相対移動する際の移動方向と直行する方向に幅のあるエッジを有する接触部材と、前記接触部材を支持するとともに前記被測定物と接触する前記エッジにおける変位を前記移動方向に相対移動して測定する差動変圧型検出器と、前記接触部材を前記被測定物に対し移動させ前記エッジの位置を調整する調整機構と、を具備する差動変圧型検出装置。

IPC (5件)：

G01B 7/28 ,  G01B 5/00 ,  G01B 7/34 101 ,  G01B 7/34 102 ,  G01B 21/20

FI (5件)：

G01B 7/28 E ,  G01B 5/00 P ,  G01B 7/34 101 A ,  G01B 7/34 102 B ,  G01B 21/20 P

Fターム (53件)：

2F062AA21 ,  2F062AA51 ,  2F062AA66 ,  2F062BB03 ,  2F062BB04 ,  2F062BB14 ,  2F062CC22 ,  2F062DD03 ,  2F062DD23 ,  2F062DD26 ,  2F062DD29 ,  2F062DD33 ,  2F062EE01 ,  2F062EE62 ,  2F062FF03 ,  2F062FF04 ,  2F062GG49 ,  2F062GG66 ,  2F062HH06 ,  2F062HH16 ,  2F063AA11 ,  2F063AA41 ,  2F063AA43 ,  2F063BC02 ,  2F063BC05 ,  2F063CA09 ,  2F063DA01 ,  2F063DA02 ,  2F063DA04 ,  2F063DB03 ,  2F063DC08 ,  2F063DD02 ,  2F063GA15 ,  2F063MA02 ,  2F063MA04 ,  2F069AA31 ,  2F069AA51 ,  2F069AA60 ,  2F069AA61 ,  2F069CC02 ,  2F069CC05 ,  2F069CC06 ,  2F069FF01 ,  2F069FF03 ,  2F069FF07 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069JJ10 ,  2F069JJ13 ,  2F069PP06 ,  2F069QQ12