特許
J-GLOBAL ID：200903095264101634
グロ-放電プラズマ用電極及びこれを用いたオゾン発生または気体浄化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田中 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-252760
公開番号（公開出願番号）：特開平5-155605
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、プラズマ容器中のガス雰囲気として大気圧又はほぼ大気圧に近い窒素ガス又は空気の存在下で安定なグロ-放電を発生できるグロ-放電プラズマ用電極及びこの電極を使用したオゾン発生及び気体浄化方法を提供する。【構成】 少なくとも2枚以上の大きさの異なる誘電体フィルムのそれぞれに、その一方の面に電導度を異にした導電性の層を設け、これらの誘電体フィルムを大きさの小さいものより順次大きいものの順に、また電導度の大きいものより順次小さくなるように配置し、一方の誘導体フィルムの誘導体の面が他の誘導体フィルムの導電性の層と接するように重ね合わせて積層体とし、該積層体の大きさの最も小さい誘電体フィルムが放電用電極に接するようにしたことを特徴とするグロ-放電プラズマ用電極である。
請求項（抜粋）：
少なくとも2枚以上の大きさの異なる誘電体フイルムの一方の面に導電性粉末を含有する層若しくは導電性を有する層を構成し、これらの誘電体フイルムの大きさの小さいものより大きいものの順に、導電性粉末を含有する層若しくは導電性を有する層の電導度を順次段階的に小さくし、一方の誘電体フイルムの誘電体の面が他の誘電体フイルムの導電性粉末を含有する層若しくは導電性を有する層と接するように重ね合わせて積層体とし、該積層体の大きさの最も小さく、且つ、電導度の最も大きい層の誘電体フィルムの誘電体の面が放電用電極と接するようにしたことを特徴とするグロ-放電プラズマ用電極。
IPC (4件)：
C01B 13/11
, B01D 53/32
, B01J 19/08
, H01J 17/04
