特許
J-GLOBAL ID：200903095267060530
イオンビームの発生装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-035717
公開番号（公開出願番号）：特開平5-205683
出願日： 1992年01月27日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】 カソードの製造が不可能な合金や平衡状態では得られない合金の注入を可能としたパルスイオン源。【構成】 真空包囲体1の中で互いに絶縁されて設置されたアノード2と複数の異種金属カソード3の間で交互に真空アークを発生させてイオンビームを引き出すイオン源に於て、異種金属カソード3の真空アーク放電の頻度を変化させることにより任意成分の金属イオンビームの引出しを行う。
請求項（抜粋）：
真空包囲体の中に互いに絶縁して設置されたアノードと複数の異種金属カソードとを有し、前記アノードとカソード間で放電を発生させるトリガー電源と、前記カソードの一部を蒸発かつイオン化して形成した金属プラズマを放電領域からプラズマ室へ導くアーク電源を設けたイオンビーム発生装置に於いて、前記複数の異種金属カソード毎にトリガー電極を設けると共に各カソードへのトリガー電源を制御するパルス制御装置を設けたことを特徴とするイオンビーム発生装置。
IPC (3件)：
H01J 37/08
, H01J 27/08
, H05H 7/08
