特許
J-GLOBAL ID：200903095269544607
基板保持装置および基板保持方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薄田 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-262677
公開番号（公開出願番号）：特開平9-107014
出願日： 1995年10月11日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：
【要約】【課題】しゅう動による汚染の恐れがなく、基板裏面と非接触で基板を保持することができる基板保持装置および基板保持方法を提供する。【解決手段】弾性変形可能な円板3を凹円板2の上部に固定し、上記円板3上に配置された爪4によって、基板(シリコンウエーハ)1の側面を押圧して保持する。【効果】しゅう動機構を有していないため塵埃の発生がなく、また、基板1との接触が側面の一部のみであるため、塵埃および重金属による基板1の裏面の汚染がない。
請求項（抜粋）：
弾性変形可能な弾性体と、当該弾性体上に設けられた爪と、上記弾性体を弾性変形させて、上記爪を上記弾性体の内径方向に傾斜させる手段を少なくとも具備したことを特徴とする基板保持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 E
