特許

J-GLOBAL ID：200903095272390033

ネガ型感光性樹脂組成物およびそのパターン形成方法

発明者： 番場 敏夫 ,  指田 暢幸 ,  山本 光弘 ,  竹田 直滋
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-284722
公開番号（公開出願番号）：特開平6-214390
出願日： 1992年10月22日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【構成】 ポリアミド酸のカルボキシル基に単又は多官能の感光性基、さらに低級アルコールを共有結合で導入したポリアミド酸エステル、グリシン化合物、スチリル化合物およびナフトキノンジアジド化合物と光重合開始剤からなるネガ型感光性樹脂組成物。【効果】 高感度でかつ高解像度を有するネガ型のパターンが得られる。

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)で示されるポリアミド酸エステルと【化1】(B)下記式(2)で示されるグリシン化合物と【化2】(式中、R7:-H、-CH3、-C2H5、-C6H5、-OCH3、-OCOCH3、-OC2H5、-OCOC2H5、-N(CH3)2、-N(C2H5)2、-NHCOOCH3、-COCH3、-COC2H5、-NHCONH2、-CH2OH、-OH、-CH(CH3)2、-C(CH3)3 )(C)下記式(3)で示されるスチリル化合物及び【化3】(D)ナフトキノンジアジド化合物を必須成分とすることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/038 504 ,  C08K 5/16 ,  C08K 5/19 ,  C08K 5/28 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-120543
  
• 特開平3-170549
  
• 特開平3-210361
  
• 特開平3-241356