液晶配向膜の形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-175115
公開番号（公開出願番号）：特開平5-019265
出願日： 1991年07月16日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】【目的】本発明は、液晶分子を所定の方向に配向させるための配向膜を形成する方法に係わり、均一で薄い液晶配向膜を比較的簡単な装置によって形成する方法を提供することを目的とする。【構成】ポリイミドないしポリイミド前駆体を溶媒に溶かした溶剤(3)をスピンコート法により基板(1)面に塗布する工程と、前記溶剤が塗布された基板面を所定の遮光パターン(11)を有するマスク(7)下で遠紫外光に露光し、前記パターンで遮蔽された部分以外の遠紫外光に露光された部分(9)の前記溶剤を灰化して除去し、前記パターンで遮蔽された部分(8)にポリイミド膜を生成する工程と、生成したポリイミド膜表面をラビングして配向膜を形成する工程とを含む。

請求項（抜粋）：

ポリイミドないしポリイミド前駆体を溶媒に溶かした溶剤をスピンコート法により基板面に塗布する工程と、前記溶剤が塗布された基板面を所定の遮光パターンを有するマスク下で遠紫外光に露光し、前記遮光パターンで遮蔽された部分以外の遠紫外光に露光された部分の前記溶剤を灰化して除去し、前記遮光パターンで遮蔽された部分にポリイミド膜を生成する工程と、生成したポリイミド膜表面をラビングして配向膜を形成する工程とを含む液晶配向膜の形成方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-191129
特開昭60-207117
特開昭58-159519

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