特許
J-GLOBAL ID：200903095279611922
ウエハ状製品、特にシリコンウエハの処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-532845
公開番号（公開出願番号）：特表平10-508157
出願日： 1996年02月28日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】室(1)内に、リング(3)と保持フィンガー(4)とによって構成されるバスケットが回動可能に装着されている。バスケットを回転することにより、リング(3)から軸線方向に距離を隔てて保持フィンガー(4)によって保持されたウエハ状製品(7)が回転する。製品(7)に処理液を付与するノズル(10,11)が、製品(7)の表裏の大面積表面(9)の専用に供される。
請求項（抜粋）：
ウエハ状製品の装着部材が、軸(13)を中心に回転するリング(3)を備える点、 前記リング(3)と接するように、ウエハ状製品(7)の外側周辺部と隣り合う数本の保持フィンガー(4)を有しており、 ウエハ状製品(7)の外側周辺部と隣り合う保持フィンガー(4)の端部が、リング(3)の面から距離を隔てて配置される点、に特徴を有する、 ウエハ状製品(7)を収容する室(1)内に設けた回転装着部材(3,4)の内部において、ウエハ状製品(7)に処理液を施すための少なくとも1つのノズル(10,11)によって、ウエハ状製品(7)、特に、シリコンウエハを処理液で処理する装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, H01L 21/306
, H01L 21/68
H01L 21/304 341 N
, H01L 21/304 341 C
, H01L 21/68 N
, H01L 21/306 S
