特許
J-GLOBAL ID：200903095282524496
磁気記録媒体及び磁気記録媒体用基板の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-119504
公開番号（公開出願番号）：特開平9-288820
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：
【要約】【課題】 基板の品質管理を容易化できるとともに、基板の品質を向上させること。【解決手段】 磁気記録媒体用基板の最終仕上研磨を、所定のクリーン度のクリーンルーム内で研磨テープを用い水溶液で洗い流しながら実施すること。
請求項（抜粋）：
磁気記録媒体用基板の最終仕上研磨を、所定クリーン度のクリーンルーム内で、研磨テープを用い水溶液で洗い流しながら実施することを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G11B 5/84 A
, G11B 5/84 Z
, B24B 21/00 B
