多分割アバランシェフォトダイオード

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-286712
公開番号（公開出願番号）：特開平7-226532
出願日： 1994年11月21日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】不感帯幅を小さくして分解能が向上された多分割APDを提供する。【構成】受光部の外周縁部にのみガードリングを配置する。しかし、受光部が隣接する領域には、ガードリングを設けない。そして、この領域を空乏層化する。空乏層により電界集中が生じないため、エッジブレークダウンは発生しない。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に複数の受光部が配置されてなる多分割アバランシェフォトダイオードにおいて、前記受光部の外周縁部にのみガードリングが設けられていることを特徴とする多分割アバランシェフォトダイオード。

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