特許
J-GLOBAL ID：200903095288473648
重ね合わせ露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-222632
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064516
出願日： 1994年08月23日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 フィールドサイズの異なる露光装置による重ね合わせ露光において、重ね合わせ精度の向上を図る。【構成】 第1の露光装置で露光される第1露光領域1を分割した各分割領域11〜14と、第2の露光装置で露光される第2露光領域2とを重ね合わせて露光する際に、第1の露光装置の収差による各分割領域11〜14の露光位置の変位と、第2の露光装置の収差による第2露光領域2の露光位置の変位とを測定する。第2露光領域2の変位を補正しかつ各分割領域11〜14の露光位置の変位に合わせてずらした位置に第2露光領域2の露光を行う。第1露光領域の露光を行う。これによって、第2露光領域2の露光位置は、第1露光領域1の各分割領域11〜14の露光位置に対して個別に補正される。
請求項（抜粋）：
第1の露光装置で露光される第1露光領域を分割した各分割領域と、第2の露光装置で露光される第2露光領域とを重ね合わせて露光する方法において、前記第1の露光装置の収差による前記各分割領域毎の露光位置の変位と、前記第2の露光装置の収差による前記第2露光領域の露光位置の変位とを測定する第1の工程と、前記第2露光領域の変位を補正する状態で、前記第1露光領域の露光を行い、前記各分割領域の露光位置の変位に合わせてずらした位置に前記第2露光領域の露光を行う第2の工程とからなることを特徴とする重ね合わせ露光方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
