特許
J-GLOBAL ID：200903095291604281

洗浄装置

発明者：
北原 重徳

北原 重徳 について

, 
田口 啓治

田口 啓治 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-219705
公開番号（公開出願番号）：特開2000-033347
出願日： 1998年07月17日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：
【要約】【課題】 設置空間を低く抑えられたフィルタ内から優先的かつ効率的に気体を除去できる洗浄装置を提供する。【解決手段】 ウェハWを収納自在な洗浄槽50に洗浄液を循環させる循環回路55の途中に,筒体61内に配置したろ材60の外周面60aから内周面60bへと洗浄液を流すことにより洗浄液をろ過するフィルタ59を設けた洗浄装置12において,フィルタ59の中心軸が左上がりに傾斜するようにして配置すると共に,フィルタ59内の気泡66を排出する第1の排出口67,第2の排出口72を設けた。
請求項（抜粋）：
基板を収納自在な洗浄槽に洗浄液を供給する回路の途中に,筒体内に配置したろ材の1次側から2次側へ洗浄液を通過させることにより洗浄液をろ過するフィルタを設けた洗浄装置において,前記フィルタの中心軸を横方向に倒して配置すると共に,前記フィルタ内の気体を排出する排出口を設けたことを特徴とする,洗浄装置。
IPC (3件)：
B08B 3/04 ,  B01D 29/11 ,  H01L 21/304 648
FI (5件)：
B08B 3/04 Z ,  H01L 21/304 648 F ,  B01D 29/10 510 C ,  B01D 29/10 520 Z ,  B01D 29/10 530 A
Fターム (10件)：
3B201AA03 ,  3B201AB23 ,  3B201AB44 ,  3B201BB04 ,  3B201BB82 ,  3B201BB94 ,  3B201CB15 ,  3B201CC01 ,  3B201CC12 ,  3B201CD22
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-140860   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 特開平1-284315
  • 特開平1-284315

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