特許

J-GLOBAL ID：200903095295104194

感光性樹脂組成物およびネガ型パターン形成方法

発明者： 大島 彩
出願人/特許権者： 京セラケミカル株式会社
代理人 (1件)： 諸田 英二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-006856
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207892
出願日： 2002年01月16日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】 有機溶剤にて現像が可能なネガ型パターン形成能を有する可溶性ポリイミドからなる感光性樹脂組成物と新規なネガ型パターン形成方法を提供する。【解決手段】 (A)次の繰返し単位を有する可溶性ポリイミド、(但し、式中、R1 ,R3 ,R2 ,R4 は、芳香族基、複数の芳香族環が単結合又は-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -、-C(CH3 )2 -若しくは-C(CF3 )2 -で結合された有機基であり、mは1以上の整数、nは0又は1以上の整数である。)(B)(A)のエーテル結合に隣接する芳香族環に対して酸触媒で反応可能な架橋剤(C)紫外線等活性光線に対して分解して酸を発生する感光剤、(D)(C)の感光剤の分解を促進する増感剤および(E)溶剤からなるネガ型感光性樹脂組成物とそれを用いたネガ型パターン形成方法である。

請求項（抜粋）：

(A)次の繰返し単位を有する可溶性ポリイミド、【化1】(但し、式中、R1 ,R3 は、4価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された4価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2-、-C(CH3 )2 -若しくは-C(CF3 )2 -で結合された4価の有機基であり、R2 ,R4 は、2価の芳香族基、複数の芳香族環が単結合された2価の有機基、又は複数の芳香族環が-O-、-CO-、-SO2 -、-CH2 -、-C(CH3 )2 -若しくは-C(CF3 )2 -で結合された2価の有機基であり、またmは1以上の整数、nは0又は1以上の整数である。)(B)(A)のポリマーに対して酸触媒等で反応可能な架橋剤(C)紫外線等活性光線に対して分解して酸を発生する感光剤、(D)(C)の感光剤の分解を促進する増感剤および(E)溶剤からなることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (52件)：

2H025AA01 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BF00 ,  2H025CB25 ,  2H025CC17 ,  2H025FA12 ,  2H096AA25 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096FA01 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA42 ,  4J043SA54 ,  4J043SA62 ,  4J043SA72 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA032 ,  4J043UA042 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA251 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA331 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB051 ,  4J043UB121 ,  4J043UB241 ,  4J043UB291 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB311 ,  4J043VA022 ,  4J043VA041 ,  4J043VA042 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZB22