特許

J-GLOBAL ID：200903095295378561

レーザエッチング方法

発明者： 山内 康弘 ,  村田 正義 ,  宇田 和孝 ,  西田 聖一 ,  高野 暁己 ,  芹澤 暁
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-075875
公開番号（公開出願番号）：特開平9-266325
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 Al電極をエッチングして太陽電池を複数の絶縁された電池に分ける場合に安定した絶縁抵抗を得ることができるレーザエッチング方法を提供する。【解決手段】 アモルファスシリコン太陽電池で集積型モジュールを製作する場合に使用するレーザエッチング方法で、マスク03で矩形に整形されたレーザビームを使用して太陽電池06をエッチングする場合に、矩形レーザビームの長手方向軸をXYテーブル07の移動方向軸に対し、エッチング装置のマスク形状031を回転させることで、傾けてエッチングする。

請求項（抜粋）：

アモルファスシリコン太陽電池で集積型モジュールを製作する場合に使用するレーザエッチング方法で、矩形のレーザビームを使用して太陽電池をエッチングする場合に、矩形レーザビームの長手方向軸を基板移動方向軸に対して傾けてエッチングするレーザエッチング方法。

IPC (3件)：

H01L 31/042 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/16

FI (3件)：

H01L 31/04 C ,  B23K 26/00 H ,  B23K 26/16