特許

J-GLOBAL ID：200903095311483974

基板保持装置及び露光装置

発明者： 近藤 誠
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-054004
公開番号（公開出願番号）：特開2003-258071
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：

【要約】【課題】 基板保持に伴う静電気を確実に放電する。【解決手段】 基板を保持するため該基板の裏面の一部に当接する非金属材料からなる保持部材14と、前記保持部材がその先端部に接着固定された金属材料からなる台座部材12A〜12Cと、前記保持部材と前記台座部材とに渡って貼着された柔軟性を有する導電性部材17とを備え、前記保持部材の前記導電性部材が貼着される部分を研磨加工する。

請求項（抜粋）：

基板を保持するため該基板の裏面の一部に当接する非金属材料からなる保持部材と、前記保持部材がその先端部に接着固定された金属材料からなる台座部材と、前記保持部材と前記台座部材とに渡って貼着された柔軟性を有する導電性部材とを備え、前記保持部材の少なくとも前記導電性部材が貼着される部分を研磨加工したことを特徴とする基板保持装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 P ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 C

Fターム (10件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA33 ,  5F031MA27 ,  5F031PA14 ,  5F031PA21 ,  5F031PA26 ,  5F046CC08