特許

J-GLOBAL ID：200903095312116665

III族元素窒化物単結晶の製造方法およびそれに用いる反応容器

発明者： 佐々木 孝友 ,  森 勇介 ,  吉村 政志 ,  川村 史朗 ,  梅田 英和
出願人/特許権者： 独立行政法人科学技術振興機構
代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-076129
公開番号（公開出願番号）：特開2005-263535
出願日： 2004年03月17日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】 高品質の窒化ガリウム、窒化アルミニウム等のIII族元素窒化物を効率良く製造する。 【解決手段】 窒素ガス雰囲気下、ガリウム、アルミニウム等のIII族元素と、ナトリウム等のアルカリ金属を坩堝に入れ、加熱加圧して溶融し、単結晶を育成する際に、前記坩堝として(A)融点若しくは分解温度が2100°C以上の窒素非含有材質製の坩堝若しくは(B)希土類酸化物、アルカリ土類金属酸化物、W、SiC、ダイヤモンドおよびダイヤモンドライクカーボンからなる群から選択される少なくとも一つの材質製の坩堝を使用する。前記の材質としては、例えば、Y2O3が好ましい。図2(A)の写真に示すように、得られる単結晶は無色透明で、高品質であり、最大径も2cm以上である。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

III族元素窒化物単結晶の製造方法であって、アルカリ金属を含むフラックス中において、Ga、AlおよびInからなる群から選択される少なくとも一つのIII族元素と窒素(N)とを反応容器中で反応させることによりIII族元素窒化物単結晶を成長させる製造方法であって、前記反応容器として、その材質が、下記の(A)および(B)の少なくとも一方の材質である反応容器を使用する製造方法。 (A) 融点若しくは分解温度が2100°C以上の窒素非含有材質 (B) 希土類酸化物、アルカリ土類金属酸化物、W、SiC、ダイヤモンドおよびダイヤモンドライクカーボンからなる群から選択される少なくとも一つの材質

IPC (2件)：

C30B29/38 ,  C30B11/06

FI (2件)：

C30B29/38 D ,  C30B11/06

Fターム (9件)：

4G077AA02 ,  4G077BE11 ,  4G077BE13 ,  4G077BE15 ,  4G077CD05 ,  4G077EG02 ,  4G077HA02 ,  4G077MB12 ,  4G077MB21

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 窒化ガリウム単結晶の育成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-136415   出願人：科学技術振興事業団
• 結晶成長方法および結晶成長装置およびIII族窒化物結晶および半導体デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-277045   出願人：株式会社リコー, 島田昌彦, 山根久典
• 根菜類収穫機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-219804   出願人：株式会社クボタ
• III族窒化物結晶成長方法およびIII族窒化物結晶成長装置およびIII族窒化物結晶および半導体デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-018507   出願人：株式会社リコー

審査官引用 (2件)

• III族窒化物の結晶成長方法および結晶成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-009651   出願人：株式会社リコー
• III族窒化物結晶成長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-119436   出願人：株式会社リコー