特許
J-GLOBAL ID：200903095315131630
質量分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-133617
公開番号（公開出願番号）：特開平7-320682
出願日： 1994年05月23日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 ベントバルブに特別仕様の高価なバルブを使用せず、低コストの通常仕様のバルブを用いて、なおかつ測定室内へのリークを従来の装置と同レベルに抑える。【構成】 測定室11と大気との間に標準試料バルブ19とベントバルブ20とを直列に接続し、両バルブ19、20の間から分岐した通路に標準試料容器23を接続する。
請求項（抜粋）：
測定室内の真空を破って大気圧にするためのベントバルブと、標準試料を測定室に導入するための標準試料バルブとを備えた質量分析装置において、測定室と大気との間に標準試料バルブとベントバルブとを直列に接続し、両バルブの間の通路から分岐した通路に標準試料容器を接続したことを特徴とする質量分析装置。
IPC (3件)：
H01J 49/24
, H01J 49/04
, G01N 27/62
