特許

J-GLOBAL ID：200903095315512685

X線検査装置、及びX線シール構造

発明者： 寺岡 璋
出願人/特許権者： 株式会社テクノエナミ
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-075453
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264270
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】 積層基板等の内部構造をより明確に観察することのできるX線検査装置を提供すること。【解決手段】 試料を載置する試料台4を挟んで、X線を照射するX線源21とX線を検出するX線検出部22とが対向して配置され、X線源21から照射され、試料を透過したX線がX線検出部22にて検出されるように構成されたX線検査装置において、X線源21とX線検出部22におけるX線入射面22aの中心とを結ぶ直線に直交する軸S3 上で装置の枠体28に枢支され、X線源21とX線検出部22とを支持する支持手段26と、距離Dを調整することによって、軸S3 を回転軸として、支持手段26を回動させる駆動手段27とを装備する。

請求項（抜粋）：

試料を挟んで、X線を照射するX線源とX線を検出するX線検出部とが対向して配置され、前記X線源から照射され、前記試料を透過したX線が前記X線検出部にて検出されるように構成されたX線検査装置において、前記X線検出部におけるX線入射面に直交する第1の直線を試料載置面に対して傾斜させるように、前記X線源と前記X線検出部とを一体的に回動させる第1の回動手段を備えていることを特徴とするX線検査装置。

IPC (5件)：

G01N 23/04 ,  G01B 15/00 ,  G21F 3/00 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/34 512

FI (5件)：

G01N 23/04 ,  G01B 15/00 A ,  G21F 3/00 G ,  H05K 3/00 V ,  H05K 3/34 512 A

Fターム (31件)：

2F067AA54 ,  2F067AA67 ,  2F067BB01 ,  2F067BB04 ,  2F067BB16 ,  2F067CC14 ,  2F067EE17 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK06 ,  2F067LL16 ,  2F067NN05 ,  2F067PP11 ,  2F067UU00 ,  2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA06 ,  2G001JA20 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001SA14 ,  2G001SA30 ,  5E319AC01 ,  5E319BB04 ,  5E319CC11 ,  5E319CD51