特許

J-GLOBAL ID：200903095321082048

被処理体の処理システム

発明者： 坂田 一成
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-253202
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076090
出願日： 2000年08月23日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】 開閉蓋を取り外した際に、被処理体収容ボックスの外周面等に付着していたパーティクル等が、収容ボックス内へ侵入することを確実に防止することができる被処理体の処理システムを提供する。【解決手段】 被処理体Wを密閉状態で収容する被処理体収容ボックス2を一時的に貯留するためのストッカ部42と、前記被処理体に対して所定の処理を施す処理ユニット48と、少なくとも前記ストッカ部を内部に収容して前記被処理体収容ボックスを外部との間で搬出入させるボックス搬出入口54が形成された筐体とを有する被処理体の処理システムにおいて、前記ボックス搬出入口の近傍に設けられて前記被処理体収容ボックスの開閉蓋10を開閉する蓋開閉機構50と、前記被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉時に出没されて前記開閉蓋を覆って内部に清浄度の高い清浄気体を流す蓋開閉用ダクト部材52とを備える。これにより、開閉蓋を取り外した際に、被処理体収容ボックスの外周面等に付着していたパーティクル等が、収容ボックス内へ侵入することを確実に防止する。

請求項（抜粋）：

被処理体を密閉状態で収容する被処理体収容ボックスを一時的に貯留するためのストッカ部と、前記被処理体に対して所定の処理を施す処理ユニットと、少なくとも前記ストッカ部を内部に収容して前記被処理体収容ボックスを外部との間で搬出入させるボックス搬出入口が形成された筐体とを有する被処理体の処理システムにおいて、前記ボックス搬出入口の近傍に設けられて前記被処理体収容ボックスの開閉蓋を開閉する蓋開閉機構と、前記被処理体収容ボックスの開閉蓋の開閉時に出没されて前記開閉蓋を覆って内部に清浄度の高い清浄気体を流す蓋開閉用ダクト部材とを備えたことを特徴とする被処理体の処理システム。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  C23C 14/00 ,  C23C 14/56 ,  C23C 16/44

FI (6件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T ,  C23C 14/00 B ,  C23C 14/56 G ,  C23C 16/44 F ,  C23C 16/44 J

Fターム (35件)：

4K029BD01 ,  4K029DA09 ,  4K029KA01 ,  4K029KA09 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030GA12 ,  4K030KA11 ,  4K030KA39 ,  4K030LA15 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031GA02 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031JA02 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA23 ,  5F031JA43 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031MA17 ,  5F031MA28 ,  5F031NA03 ,  5F031NA04 ,  5F031NA07 ,  5F031NA10 ,  5F031NA16 ,  5F031NA17

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 局所クリーンシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-365914   出願人：株式会社日立製作所, 日立テクノエンジニアリング株式会社
• 縦型熱処理装置およびボート搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-327568   出願人：東京エレクトロン株式会社