金属酸化物ナノ微粒子の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-107805
公開番号（公開出願番号）：特開2003-306319
出願日： 2002年04月10日
公開日（公表日）： 2003年10月28日
要約：

【要約】【課題】従来の金属酸化物ナノ微粒子の製造方法における限界を克服するものである。従来のものとは異なり、結晶構造や化学量論性が十分に制御され、また、不純物の混入が極めて少ない金属酸化物ナノ微粒子を、実験条件選択の自由度が高いレーザーアブレーション法を利用して室温で製造する方法である。【解決手段】 10mTorr〜大気圧の圧力に制御された不活性ガス、酸素、あるいは両者の混合ガス雰囲気中において、原料となる固体材料にレーザー光を照射することにより、それをプラズマ状に蒸発させた後、この状態の系を該雰囲気で断熱的に冷却するという工程から成る金属酸化物ナノ微粒子の製造方法。原料となる固体材料が、金属または金属酸化物であり、レーザー光が、紫外、可視、または赤外域にスペクトルを有するものであり、不活性ガスが、ヘリウム、アルゴン等の希ガスである。

請求項（抜粋）：

レーザーアブレーション法により、粒径が100nm以下の金属酸化物ナノ微粒子を室温で製造する方法。

IPC (3件)：

C01B 13/28 , B82B 3/00 , C01G 23/04

FI (3件)：

C01B 13/28 , B82B 3/00 , C01G 23/04 Z

Fターム (11件)：

4G042DA01 , 4G042DB16 , 4G042DB17 , 4G042DC03 , 4G042DD04 , 4G042DE03 , 4G042DE12 , 4G047CA02 , 4G047CB04 , 4G047CC03 , 4G047CD04

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平2-175601
特開平2-175601

引用文献：

審査官引用 (5件)

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