特許

J-GLOBAL ID：200903095322941427

支持装置、光学装置、露光装置、及びデバイスの製造方法

発明者： 青木 貴史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-403213
公開番号（公開出願番号）：特開2005-166922
出願日： 2003年12月02日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：

【課題】 エネルギービームの光路上の配置される光学部材が隔てる空間に対する種類が異なる気体のリークを防止し、かつ光学的な性能の低下を抑制することができる支持装置等等を提供する。 【解決手段】 エネルギービームの光路上に配置される光学部材L1を支持する支持装置D1において、光学部材L1が収容される容器100の壁面と光学部材L1の外周側面L1aとの間で、かつ光学部材L1の外周側面L1aとの間に所定の間隔CL1を空けて設置され、光学部材L1の外周側面L1aの近傍に存在するガスを容器100の外部に排気する排気機構130を備える。 【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

エネルギービームの光路上に配置される光学部材を支持する支持装置において、 前記光学部材が収容される容器の壁面と前記光学部材の外周側面との間で、かつ前記光学部材の外周側面との間に所定の間隔を空けて設置され、前記光学部材の外周側面の近傍に存在するガスを前記容器の外部に排気する排気機構を備えることを特徴とする支持装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 516F

Fターム (8件)：

5F046AA22 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA08 ,  5F046CB12 ,  5F046CB20 ,  5F046CB25 ,  5F046DA27

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-046519   出願人：株式会社ニコン