特許

J-GLOBAL ID：200903095324433364

電気炉の加熱制御装置

発明者： 上野 正昭
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-116461
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288230
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 炉内にワークを搬入する際の炉内の温度低下が抑制され、ワークの搬入時において設定温度に安定的かつ速やかに収束させることができ、製造のサイクルタイムを短縮化できる電気炉の加熱制御装置を提供する。【構成】 ヒータ12を設定温度および炉内外の温度を検出する熱電対13,15の出力に基づきカスケード制御するとともに、ボートローダ20によるウェーハWの搬入時にはヒータ12により炉内を予熱する電気炉の加熱制御装置であって、ボートローダ20の作動を検出するエンコーダ25の出力に基づきボートローダ20によるウェーハW搬入時にはヒータ12の加熱量を増大させ、ウェーハW搬入時の炉内温度の低下を抑制するように構成した。

請求項（抜粋）：

ワークを炉内に搬入するローダと、炉内を加熱する電気ヒータと、炉内あるいは炉外の少なくとも一方に設けられた温度センサと、該温度センサの検知温度と設定温度との偏差に応じ目標加熱量を決定し該目標加熱量に応じた電流を前記電気ヒータに通電する制御回路とを備えた電気炉の加熱制御装置において、前記ローダのワーク搬入作動を搬入作動センサにより検出し、該センサの出力に基づき前記ローダの搬入作動時に前記加熱量を増量補正することを特徴とする電気炉の加熱制御装置。

IPC (4件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/324

FI (4件)：

H01L 21/22 511 A ,  H01L 21/22 501 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/324 D