特許
J-GLOBAL ID:200903095329722763

脱気・脱泡方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 萩野 平 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-281964
公開番号(公開出願番号):特開平5-096103
出願日: 1991年10月03日
公開日(公表日): 1993年04月20日
要約:
【要約】【目的】 塗布液の脱気・脱泡も設備も大きなものでなく、又液中の溶存空気の過飽和による発泡の危険性もなく、能率的に脱気・脱泡出来る方法を提供すること。【構成】 送液ポンプ1によって塗布液を超音波脱泡装置2に入れ脱泡した液を直列につないだ多孔質体脱気装置3のチューブ内を通し、チューブ外は真空ポンプ4で減圧にして脱気を行った後に塗布ヘッド5に供給する。
請求項(抜粋):
塗布工程に供給する塗布液の脱気・脱泡方法において、該塗布液を超音波脱泡装置と多孔質体脱気装置とに直列に通すことを特徴とする脱気・脱泡方法。

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