摺動面部材及びその成膜装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-132814
公開番号（公開出願番号）：特開平9-298097
出願日： 1996年04月30日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【課題】本発明は、摺動面部材及び成膜装置に関し、テープの摺動に適した硬度及び摩擦係数を備えると共に、静電気を帯電させないようにする。【解決手段】テープに摺動される摺動面部材において、導電性膜(7)及び、当該導電性膜(7)に比して硬度の高い膜(8)を交互に基板(5A)上に積層するもので、なおかつ最外殻層を導電性膜(7)としたことにより、導電性を有すると共に、耐磨耗性の高い摺動面部材(9)を形成し得る。

請求項（抜粋）：

テープに摺動される摺動面部材において、導電性膜及び、当該導電性膜に比して硬度の高い膜を交互に基板上に積層するもので、なおかつ最外殻層を上記導電性膜としたことを特徴とする摺動面部材。

IPC (3件)：

H05F 1/02 , C23C 14/06 , H05F 3/02

FI (3件)：

H05F 1/02 E , C23C 14/06 F , H05F 3/02 F

前のページに戻る