特許

J-GLOBAL ID：200903095335348466

軸外し反射光学系

発明者： 作田 博伸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-011888
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214530
出願日： 2001年01月19日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】諸収差が良好に補正されたマルチバンド観測用の軸外し反射光学系を提供すること。【解決手段】中央部に光通過部AP1を有する凹面の第1反射鏡101と、第1反射鏡101よりも物体側に配置され、第1反射鏡101により反射された物体からの光を反射して、第1反射鏡101の光通過部AP1を通過させて物体の中間像を形成する凸面の第2反射鏡102と、第1反射鏡101と第2反射鏡102により結像された中間像を最終像面106に再結像させる凹面の第3反射鏡104とを有する軸外し反射光学系において、中間像と第3反射鏡104との間の光路中に折返し反射鏡103をさらに有し、前記最終像面106には複数の1次元センサLS1,LS2,LS3,LS4を並列に配置し、前記複数のラインセンサの位置に対応して、折返し反射鏡103の反射面には複数の帯状のバンドパス反射膜BP1,BP2,BP3,BP4が形成されている。

請求項（抜粋）：

中央部に光通過部を有する凹面の第1反射鏡と、前記第1反射鏡よりも物体側に配置され、前記第1反射鏡により反射された前記物体からの光を反射して、前記第1反射鏡の前記光通過部を通過させて前記物体の中間像を形成する凸面の第2反射鏡と、前記第1反射鏡と前記第2反射鏡により結像された中間像を最終像面に再結像させる凹面の第3反射鏡とを有する軸外し反射光学系において、前記中間像と前記第3反射鏡との間の光路中に折返し平面鏡をさらに有し、前記最終像面には複数の1次元センサを並列に配置し、前記各1次元センサの位置に対応して、前記折返し平面鏡の反射面には複数の帯状のバンドパス反射膜が形成されていることを特徴とする軸外し反射光学系。

IPC (4件)：

G02B 17/00 ,  G01J 3/36 ,  G01J 3/50 ,  G02B 5/26

FI (4件)：

G02B 17/00 A ,  G01J 3/36 ,  G01J 3/50 ,  G02B 5/26

Fターム (13件)：

2G020BA19 ,  2G020CC31 ,  2G020CC63 ,  2G020CD06 ,  2G020CD24 ,  2H048FA09 ,  2H048FA11 ,  2H048FA22 ,  2H087KA00 ,  2H087NA01 ,  2H087RA43 ,  2H087TA02 ,  2H087TA06