特許

J-GLOBAL ID：200903095343438164

照明装置

発明者： 岩城 忠雄 ,  船浪 雪弥 ,  光岡 靖幸 ,  笠間 宣行
出願人/特許権者： セイコー電子工業株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-057824
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254699
出願日： 1995年03月16日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】 小型で、高い光学波長フィルタリング特性を有し、かつ、光利用効率が高く、ビーム成形作用をも有する、投影装置や露光装置に用いられる照明装置を提供することを目的とする。【構成】 少なくとも光源とロッドインテグレータとからなり、当該ロッドインテグレータの少なくとも入射端面と出射端面とを除く反射面の一部または全面に光学フィルタが形成された構成である。【効果】 少ない光学部品でより高い光学波長フィルタリング特性を実現でき、そのために本発明の照明装置を用いた光学機械はノイズが少なく、コンパクトな構成とすることができるという効果を有する。

請求項（抜粋）：

少なくとも光源とロッドインテグレータとからなる照明装置において、当該ロッドインテグレータの少なくとも入射端面と出射端面とを除く反射面の一部または全面に光学フィルタが形成されていることを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

G02F 1/1335 530 ,  G02F 1/13 505

FI (2件)：

G02F 1/1335 530 ,  G02F 1/13 505