特許
J-GLOBAL ID：200903095353328065
プラズマ発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-161605
公開番号（公開出願番号）：特開平11-347342
出願日： 1998年06月10日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：
【要約】【課題】 広範囲において均一かつ高密度なプラズマを発生させることができる。【解決手段】 一定の間隔を隔てて対向配置されたメッシュ電極11a,11bには、高圧交番電界印加電源12が接続される。メッシュ電極11a,11bは、誘電体13a,13bにより被覆されて、プラズマ発生部が構成される。誘電体13a,13bは、触媒担持無機イオン交換体であるゼオライト14a,14bにより被覆される。高圧交番電界印加電源12としては、交流あるいはパルス高電圧電源が使用される。このように構成されたプラズマ発生装置において、メッシュ電極11a,11bを被覆している誘電体13a,13bは、交番高電圧を受けて、分極し、プラズマ発生部間に交番高電界を発生する。この高電界により加速、励起された電子は、プラズマ発生部間中の処理対象ガス(環境汚染物質)をプラズマ化し、ガスは酸化、還元、分解等の作用を受ける。
請求項（抜粋）：
環境汚染物質が導入され、この物質をプラズマ処理するプラズマ発生部が備えられたプラズマ発生装置において、前記プラズマ発生部を担持体で被覆したことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (3件)：
B01D 53/32
, H05H 1/24
, H05H 1/46
B01D 53/32
, H05H 1/24
, H05H 1/46 M
