特許
J-GLOBAL ID：200903095354047329
マイクロインジェクティングデバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-314437
公開番号（公開出願番号）：特開2000-141658
出願日： 1999年11月04日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：
【要約】【課題】 ワーキング溶液のチャンネルが遮断しても,あるいはワーキング溶液の逆流を防止して,メンブレンを円滑に動作させることにより最終的に噴射されるインク量を均一化するマイクロインジェクティングデバイスを提供する。【解決手段】 溶液供給チャンネルは,ワーキング溶液注入口と連結する2つのワーキング溶液供給チャンネルを有し,この2つのワーキング溶液供給チャンネルは,加熱チャンバ層に形成された複数ワーキング溶液供給チャンネルと連結される。
請求項（抜粋）：
ワーキング溶液注入口から供給されるワーキング溶液を,加熱チャンババリア層で形成されるワーキング溶液供給チャンネルを介して加熱チャンバに供給し,前記加熱チャンバ内に供給された前記ワーキング溶液をメンブレンを介して外部の目的物に噴射するマイクロインジェクティングデバイスであって,前記溶液供給チャンネルは,少なくとも,前記加熱チャンババリア層により形成され,前記ワーキング溶液注入口と連結する第1ワーキング溶液供給チャンネルと,前記ワーキング溶液注入口と連結され,前記第1ワーキング溶液チャンネルとの間を仕切るように前記加熱チャンババリア層で形成される第2ワーキング溶液供給チャンネルと,前記第1ワーキング溶液供給チャンネルから分岐し,前記加熱チャンバと連結する複数の第3ワーキング溶液供給チャンネルと,前記第1ワーキング溶液供給チャンネルと前記第2ワーキング溶液供給チャンネルを連結するために,前記第1ワーキング溶液供給チャンネルと前記第2ワーキング溶液供給チャンネルとの間を仕切る前記加熱チャンババリア層に形成される複数の第4ワーキング溶液供給チャンネルと,を有することを特徴とするマイクロインジェクティングデバイス。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
