特許

J-GLOBAL ID：200903095354676946

蛍光X線のスペクトル線強度算出方法

発明者： 塩田 忠弘
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-000663
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197457
出願日： 1997年01月07日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】 蛍光X線分析装置において、スペクトル波形の同一のピークに含まれる異なる元素のスペクトル線の強度がより正確に算出されるようにする。【解決手段】 異なる元素A,Bのスペクトル線PA,PBを含むピークPについて、ピーク位置CPとピーク強度IPとを求めておいて、各スペクトル線PA,PBについては、それぞれ波長位置CA,CBと強度IA,IBとを推定し、それらの値を基にスペクトル線PA,PBの形状を関数近似し、その関数から、各スペクトル線PA,PBのピーク位置CPでの強度IPA,IPBを推定し、これらの強度IPA,IPBについては、相互の比率を一定として、その和がピーク強度IPと一致するようそれぞれ補正し、その補正値IPA',IPB'を各スペクトル線A,Bの強度値として出力するようにした。

請求項（抜粋）：

蛍光X線分析装置において、測定された蛍光X線のスペクトル波形に現れるピークのうち、同一のピークに異なる元素のスペクトル線が重畳して含まれている場合、それぞれのスペクトル線の強度を算出する方法であって、前記ピークについてピーク位置およびピーク強度を求めるステップと、そのピークに含まれる各元素のスペクトル線が、理論上の波長位置において有する強度を求めるステップと、前記理論上の波長位置とその位置での強度とから、各元素のスペクトル線の形状を所要の関数に近似して関数化するステップと、各スペクトル線の形状を示す関数から、ピーク位置での各スペクトル線の強度を推定するステップと、ピーク位置での各スペクトル線の推定強度について、相互の比率を一定として、その和がピーク強度と一致するようそれぞれ補正し、その補正値を各スペクトル線の強度値として出力するステップと、を含むことを特徴とする蛍光X線のスペクトル線強度算出方法。