特許

J-GLOBAL ID：200903095362648323

回転制御方法及び該方法を使用するステージ装置

発明者： 舛行 崇
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319479
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163090
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 ウエハの回転角を短時間に目標とする範囲内に設定する。【解決手段】 初期調整時において、回転ステージの回転駆動量(エンコーダの計測値で表される)とウエハの実際の回転角との関係を非線形な回転レートとして求める(ステップ151,152)。露光に際し、ロードされたウエハの回転角を計測し(ステップ102)、この回転角及び回転レートを用いて回転ステージを駆動した後(ステップ103)、ウエハの残留回転角Δθを確認し(ステップ104,105)、残留回転角Δθが許容値θTHを超えた場合は、追加された計測データを考慮して回転レートを再計算し(ステップ107)、それ以後は再計算された回転レートを用いて回転ステージの回転駆動量を設定し(ステップ103)、残留回転角Δθが許容値θTH以内になるまでその動作を繰り返す。

請求項（抜粋）：

位置合わせ用マークが形成された基板を保持する基板保持部と前記基板又は前記基板保持部よりなる回転対象物を回転する回転手段とを用いて、前記基板の回転角を制御する回転制御方法において、前記回転手段における回転駆動量と前記基板の回転角との関係を回転制御関係として予め決定しておき、その後前記回転手段を介して前記回転対象物を回転したときの前記回転手段における回転駆動量と前記基板の前記位置合わせ用マークに基づいて計測される実際の回転角とに基づいて前記回転制御関係を補正し、次に、前記回転手段を介して前記回転対象物を回転する際に、前記補正された回転制御関係に基づいて回転駆動量を設定することを特徴とする回転制御方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 515 G ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 F