特許

J-GLOBAL ID：200903095374473782

プラズマ測定用プローブ

発明者： 石井 弘実 ,  内田 聡 ,  浜本 員年 ,  縄田 芳一 ,  久留 長生
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 塚本 正文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-351240
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163186
出願日： 1992年12月07日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】 大面積プラズマ中でのプラズマパラメーターの高精度測定を有効かつ適確に行うことができるプラズマ測定用プローブを提供する。【構成】 プラズマが発生する真空容器1の挿入口2に固定された固定フランジ3に取付けられた滑車4と、滑車4に摺動自在に支持され真空容器1の壁の内外に突出された支持パイプ5と、支持パイプ5の内端に設けられた取付台6に互いに所定間隔を存して突設された複数本のプローブ7a,7b,7cと、支持パイプ5の外端に設けられた移動フランジ12と固定フランジ3との間に張設されたフレキシブルチューブ13と、移動フランジ12を固定フランジ3に対し接近又は離隔せしめる駆動装置17とを具えている。

請求項（抜粋）：

プラズマが発生する真空容器の挿入口に固定された固定フランジに取付けられた滑車と、上記滑車に摺動自在に支持され真空容器の壁の内外に突出された支持パイプと、上記支持パイプの内端に設けられた取付台に互いに所定間隔を存して突設された複数本のプローブと、上記支持パイプの外端に設けられた移動フランジと上記固定フランジとの間に張設されたフレキシブルチューブと、上記移動フランジを固定フランジに対し接近又は離隔せしめる駆動装置とを具えたことを特徴とするプラズマ測定用プローブ。