特許
J-GLOBAL ID：200903095374872300
蒸着用マスク
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-131042
公開番号（公開出願番号）：特開2006-307282
出願日： 2005年04月28日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】従来の蒸着用マスクでは、橋梁部と被加工物表面が接触してしまうことにより、どうしても電極膜の一部に電極膜が形成されない切断部が形成されてしまう。このため、完全に繋がった(電極膜により完全に閉じられた電極膜が形成されていない領域を有する)電極膜による特性に比べ、被加工物がセンサ素子などでは所望の感度を得られない、又圧電材などでは振動特性に不具合が発生する可能性がある。【解決手段】蒸着用マスクにおいて、マスクパターンの外側輪郭部を構成する第1のマスク部と、該マスクパターンの内側輪郭部を構成する第2のマスク部とが、第1のマスク部及び第2のマスク部の厚みより薄く、且つ被加工物表面にマスクを配置した際に、被加工物表面との間に隙間を形成する形態で繋ぐ少なくとも1つの橋梁部により接続されている蒸着用マスクである。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
個片化した被加工物の主面上に電極膜を蒸着法により形成する際に使用する、該電極膜のマスクパターンを形成した蒸着用マスクにおいて、
該マスクパターンのうち、該マスクパターンの外側輪郭部を構成する第1のマスク部と、該マスクパターンの内側輪郭部を構成する第2のマスク部とが、該第1のマスク部及び該第2のマスク部の厚みより薄く、且つ該被加工物表面に該マスクを配置した際に、該被加工物表面との間に隙間を形成する形態で繋ぐ少なくとも1つの橋梁部により接続されていることを特徴とする蒸着用マスク。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
4K029BA04
, 4K029BA05
, 4K029BA25
, 4K029BB03
, 4K029BB04
, 4K029CA01
, 4K029HA03
