ウエハ加熱装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-045574
公開番号（公開出願番号）：特開平10-242252
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】ウエハ支持盤と支持筒とが強固に接合され、優れた気密性を有するとともに、パーティクル汚染の少ないウエハ加熱装置を提供する。【解決手段】ウエハ保持装置1を構成する抵抗発熱体4を内蔵したウエハ保持盤2と、該ウエハ保持盤2を処理室30内に設置する支持筒7の両者を窒化アルミニウム質焼結体により形成するとともに、これらを窒化アルミニウムを主成分とし、希土類酸化物を含んでなる接合層9を介して焼成し、上記接合層9の希土類成分をウエハ保持盤2及び支持筒7を構成する窒化アルミニウム質焼結体に拡散させた状態で接合一体化する。

請求項（抜粋）：

抵抗発熱体を内蔵してなるウエハ保持盤と、該ウエハ保持盤を処理室内に設置する支持筒の両者を窒化アルミニウム質焼結体により形成するとともに、これらウエハ保持盤と支持筒とを、窒化アルミニウムを主成分とし、希土類酸化物を含んでなる接合層を介して焼成し、上記接合層の希土類成分がウエハ保持盤及び支持筒を構成する窒化アルミニウム質焼結体に拡散した状態で接合一体化せしめたことを特徴とするウエハ加熱装置。

IPC (7件)：

H01L 21/68 , C04B 37/00 , C23C 14/50 , C23F 4/00 , H01L 21/203 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (7件)：

H01L 21/68 N , C04B 37/00 A , C23C 14/50 E , C23F 4/00 Z , H01L 21/203 S , H01L 21/205 , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

特公平6-028258
特開平2-124778
特開平3-033066

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