特許
J-GLOBAL ID：200903095403412860
焼成炉およびその制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-276832
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108559
出願日： 1997年10月09日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 焼成炉内への空気の流入による、内部の温度分布の変動による、焼成物の焼成品質の低下を防止する。【解決手段】 クリーンルーム1に入口部31が設置され、クリーンルーム1より気圧の低い常圧の部屋2に出口部32が設置されている焼成炉4に、差圧計16、コントローラ17、インバータ18およびリターンダクト23内に設置された排気ファン19を設け、クリーンルーム1と常圧の部屋2との間の気圧差を差圧計16により検出し、その気圧差に応じてコントローラ17により排気ファン19の動作を制御して入口部31より流入してきた量の空気9をリターンダクト23より排出することにより焼成炉4内に空気が流入するのを防ぐ。
請求項（抜粋）：
加熱室と、前記加熱室内に設置された被加熱物を搬送する搬送手段と、前記加熱室の近傍に配置された加熱手段と、前記加熱室の入口近傍に接続された空気排出手段と、前記加熱室外に設置された差圧検出手段および前記差圧検出手段からの情報に基づいて前記空気排出手段の動作を制御する排出制御手段とを備え、前記加熱室の入口部が第1の空間に配置され、前記加熱室の出口部が前記第1の空間より気圧の低い第2の空間に配置されるとともに、前記差圧検出手段は前記第1の空間の気圧と前記第2の空間の気圧との圧力差を検出する手段であることを特徴とする焼成炉。
IPC (5件)：
F27B 9/02
, F27B 9/40
, H01J 9/02
, H01J 9/20
, H01L 21/22 501
F27B 9/02
, F27B 9/40
, H01J 9/02 F
, H01J 9/20 A
, H01L 21/22 501 S
