空気軸受を有する空圧アクチュエータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三浦邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-258171
公開番号（公開出願番号）：特開2003-065303
出願日： 2001年08月28日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【目的】空圧アクチュエータでありながら、軸振れ数μm以内で摺動抵抗が極めて少なく、数十gから数百Kg程度の付与荷重を自由に与えることができる空圧アクチュエータを得る。【構成】ハウジングに、互いに平行な断面円形の一対の貫通ボアを形成して、この一対の貫通ボア内にそれぞれ、進退ロッドを空気層を介して支持する空気軸受メタルを挿入固定し、ハウジングにさらに、一対の貫通ボアと軸線を平行にしてピストン室を形成し、このピストン室内に非接触で位置するピストン体をローリングダイアフラムを介して支持し、一対の進退ロッドとピストン体を共通のプレートに固定した空圧アクチュエータ。ローリングダイアフラムの持つ求心作用により、進退ロッドを空気軸受メタルの中心位置に保持することができ、僅かな軸振れと摺動抵抗を持ち、空気圧により付与荷重を自由に与えることができるアクチュエータが得られる。

請求項（抜粋）：

互いに平行な断面円形の一対の貫通ボアを有するハウジング;この一対の貫通ボア内にそれぞれ挿入固定した空気軸受メタル;この一対の空気軸受メタル内に進退可能にそれぞれ支持した進退ロッド;上記ハウジングに、一対の貫通ボアと軸線を平行にして形成したピストン室;このピストン室内に非接触で位置するピストン体に中心部を係合させ、該ピストン室の周縁に周縁ビード部を固定したローリングダイアフラム;上記一対の進退ロッドとピストン体に固定した共通のプレート;上記空気軸受メタルに圧縮空気を供給する軸受空気圧供給機構;及び上記ローリングダイアフラムによって上記ピストン室内に形成された圧力室に圧縮空気を吸排する作動空気圧供給機構;を有することを特徴とする空気軸受を有する空圧アクチュエータ。

IPC (3件)：

F15B 15/10 , F15B 15/14 315 , F16C 32/06

FI (3件)：

F15B 15/10 E , F15B 15/14 315 , F16C 32/06 A

Fターム (15件)：

3H081AA06 , 3H081AA16 , 3H081BB03 , 3H081CC03 , 3H081CC25 , 3H081DD16 , 3J102AA02 , 3J102BA08 , 3J102BA13 , 3J102CA11 , 3J102EA02 , 3J102EA06 , 3J102EA13 , 3J102EA17 , 3J102GA01

引用特許：

出願人引用 (8件)

流体圧シリンダ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-040987 出願人：エスエムシー株式会社
二段ストロークシリンダ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-357996 出願人：藤倉ゴム工業株式会社
流体圧アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-039523 出願人：株式会社コガネイ

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審査官引用 (8件)

流体圧シリンダ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-040987 出願人：エスエムシー株式会社
二段ストロークシリンダ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-357996 出願人：藤倉ゴム工業株式会社
流体圧アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-039523 出願人：株式会社コガネイ

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