ワーク表面の凹凸測定装置及び凹凸測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田英彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-316906
公開番号（公開出願番号）：特開平7-332920
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】ワーク表面の形状の影響を受けることなく広範囲でワーク表面の凹凸レベルを測定できるようにする。【構成】本発明に係るワーク表面の凹凸測定装置10は、表面に形成された凹凸の影響を受けることなく、ワークwの表面形状に倣って移動できる計測基準ブロック2と、計測基準ブロック2の移動距離を計測する移動量計測手段2eと、計測基準ブロック2の所定位置に固定されて、その計測基準ブロック2に対するワーク表面の凹凸レベルを検出する凹凸レベル検出手段4と、移動量計測手段2eからのデータと凹凸レベル検出手段4からのデータにより計測基準ブロック2の移動距離に対する凹凸レベルの関係を求めるデータ処理手段とを有している。このような構造のため、凹凸レベル検出手段4によって検出される凹凸レベルには、ワーク表面の形状変化に起因した量が加算されておらず、正確に表面粗さや表面うねりが求められる。

請求項（抜粋）：

ワークの表面形状に倣って移動できる計測基準ブロックと、前記計測基準ブロックの移動距離を計測する移動量計測手段と、前記計測基準ブロックの所定位置に固定されて、その計測基準ブロックに対するワーク表面の凹凸レベルを検出する凹凸レベル検出手段と、前記移動量計測手段からのデータと凹凸レベル検出手段からのデータにより、計測基準ブロックの移動距離に対する凹凸レベルの関係を求めるデータ処理手段と、を有することを特徴とするワーク表面の凹凸測定装置。

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