特許

J-GLOBAL ID：200903095410513974

ピツチ測定装置

発明者： 高山 仁史 ,  徳田 修一郎 ,  伊藤 正則
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-253923
公開番号（公開出願番号）：特開平5-093609
出願日： 1991年10月01日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：

【要約】【構成】 コヒーレント光を発生し、濃淡模様のある被検査物に照射できるようにビーム形状を整形した光源部と、被検査物の最小濃淡ピッチと同程度の強度分布評価を持ち、画像入力部に被検査物像を結像する光学系レンズ部と、光電変換器を含む画像入力部と、画像入力部から出力される電気信号を処理する画像処理部と、画像処理部における画像処理結果を出力する出力部からなり、被検査物の濃淡ピッチを測定する。【効果】 被検査物の最小濃淡ピッチ寸法に比較して小さい画像状の雑音を、画像処理部のハードウェアもしくはソフトウェアの処理能力に負担を与えることなく、容易に除去する。

請求項（抜粋）：

コヒーレント光を発生し、濃淡模様のある被検査物に照射できるようビーム形状を整形した光源部と、被検査物像を結像する光学系レンズ部と、結像された被検査物の画像を入力して光電変換する画像入力部と、前記画像入力部から出力される電気信号を処理するための画像処理部と、前記画像処理部における画像処理結果を出力する出力部からなる、被検査物の濃淡ピッチを測定するピッチ測定装置において、光学系レンズ部が、被検査物の最小濃淡ピッチ寸法と同程度の像の強度分布評価を持ち、被検査物の最小濃淡ピッチ寸法に比較して小さい画像上の雑音を、前記画像処理部の処理能力に負担を与えることなく、容易に除去することを特徴とするピッチ測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/02 ,  G06F 15/70 320 ,  G06F 15/70 350