特許
J-GLOBAL ID：200903095412749479

溶液ポリマー粒子の製造方法

発明者：
ロバート・エイチ・ゴア

ロバート・エイチ・ゴア について

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マイケル・ケー・ギャラガー

マイケル・ケー・ギャラガー について

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ユジアン・ヨウ

ユジアン・ヨウ について


出願人/特許権者：
シップレーカンパニー エル エル シー

シップレーカンパニー エル エル シー について


代理人 (1件)： 千田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-086105
公開番号（公開出願番号）：特開2003-048905
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】電子デバイス製造において有用な多孔質誘電体物質を製造するに必要な20nm以下の粒径のポリマー粒子を製造する方法を提供する。【解決手段】1種以上のモノマーおよび架橋剤を含む系での、段階的な方法で溶液重合により架橋されたポリマーが調製される。モノマーは、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリルアミド、アルキル(メタ)アクリレート、アルケニル(メタ)アクリレート、芳香族(メタ)アクリレート、ビニル芳香族モノマー、窒素含有化合物、窒素含有化合物のチオ類縁体体および置換エチレンモノマーから選択される。架橋剤は、トリビニルベンゼン、エチレングリコールジメタクリレート、ジビニルシラン等が用いられる。
請求項（抜粋）：
(a)1以上のモノマーおよび1以上の架橋剤を含むモノマーフィードを提供する工程、(b)重合開始剤を含む重合開始剤フィードを提供する工程、(c)1以上の反応溶剤を含む反応容器を提供する工程、(d)1以上の反応溶剤を重合開始剤を活性化するのに十分な温度に加熱する工程、(e)開始剤フィードおよびモノマーフィードを反応容器に、1以上の反応溶剤中の1以上のモノマーの濃度が実質的に一定になるような速度で加える工程、を含む複数の架橋された溶液ポリマー粒子の製造方法。
IPC (4件)：
C08F 2/04 ,  C08F212/00 ,  C08F220/00 ,  C08F236:00
FI (4件)：
C08F 2/04 ,  C08F212/00 ,  C08F220/00 ,  C08F236:00
Fターム (34件)：
4J011AA05 ,  4J011HA03 ,  4J011HB02 ,  4J011HB06 ,  4J011HB22 ,  4J011HB24 ,  4J100AB02P ,  4J100AB03P ,  4J100AB04P ,  4J100AB16Q ,  4J100AJ02P ,  4J100AL03P ,  4J100AL08P ,  4J100AL09P ,  4J100AL11P ,  4J100AL62Q ,  4J100AL67Q ,  4J100AM15P ,  4J100AM19P ,  4J100AM47P ,  4J100AP16P ,  4J100AP17Q ,  4J100AQ07P ,  4J100AQ08P ,  4J100AQ12P ,  4J100AQ19P ,  4J100AQ26P ,  4J100BA08P ,  4J100BA31P ,  4J100BA71Q ,  4J100BC04P ,  4J100CA04 ,  4J100EA09 ,  4J100JA43
引用特許：
審査官引用 (3件)

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