特許

J-GLOBAL ID：200903095415947441

バレル型気相成長装置

発明者： 伊藤 武志 ,  石原 昭
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-099905
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310431
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】円筒状反応炉容器の内部に軸方向が反応炉容器の軸と同方向となるように胴部がバレル状の釣鐘状サセプタを配し、サセプタ表面に基板を載置して反応ガスを反応炉容器の軸方向に基板ホールダに沿って流し、サセプタを加熱しつつ基板表面に膜成長を行わせるバレル型気相成長装置を、サセプタへの基板の着脱時間が短く、かつ着脱時の基板落下の恐れの小さい装置に構成する。【構成】サセプタを釣鐘状サセプタ本体と、サセプタ本体と分離可能に構成された被成膜基板搭載用の基板ホールダ31とで構成し、基板6を反応炉外で基板ホールダ31に装着したものをサセプタ本体に組み込むようにする。

請求項（抜粋）：

円筒状の反応炉容器と、反応炉容器の内部に軸方向か該容器の軸と同方向となるように配される,胴部がバレル状の釣鐘状サセプタと、サセプタを加熱するサセプタ加熱手段とを備え、サセプタ表面に被成膜基板を載置して反応炉容器の釣鐘状サセプタ天井側端部のガス導入口から反応ガスを導入するとともにサセプタ加熱手段によりサセプタを加熱して被成膜基板の表面に膜成長を行うバレル型気相成長装置において、サセプタを釣鐘状サセプタ本体と,サセプタ本体と分離可能に構成された被成膜基板搭載用の基板ホールダとにより構成することを特徴とするバレル型気相成長装置。