2次イオン質量分析装置及び2次イオン質量分析法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-338936
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160692
出願日： 1996年12月04日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】2次イオン質量分析法によって得られた元素の濃度分布結果の妥当性を2次イオン質量分析装置内で検証することを可能とする2次イオン質量分析装置を提供する。【解決手段】2次イオン質量分析装置は、測定された2次イオン質量分析結果から試料中の元素濃度分布を計算し、そして、求められた元素濃度分布から試料中の元素の量を計算する計算手段21,22を備えている。あるいは又、(イ)濃度分布を測定すべき元素に関する参照濃度分布を記憶した記憶手段、及び、(ロ)測定された2次イオン質量分析結果から試料中の元素濃度分布を計算し、そして、求められた元素濃度分布と記憶された参照濃度分布とを比較する計算・比較手段を備えている。

請求項（抜粋）：

2次イオン質量分析法に基づき試料中の元素の濃度分布測定を行うための2次イオン質量分析装置であって、測定された2次イオン質量分析結果から試料中の元素濃度分布を計算し、そして、求められた元素濃度分布から試料中の元素の量を計算する計算手段を備えていることを特徴とする2次イオン質量分析装置。

前のページに戻る