特許
J-GLOBAL ID：200903095419080183
振動絶縁装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守谷 一雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-163037
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010388
出願日： 1991年07月03日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】 酸化物超電体を用いて基台からの振動を絶縁する。【構成】 基台5にはリング状の磁石6がハウジング10を介して固設され、機器搭載台2の下側には液体窒素13を収容した容器12により包囲されたリング状のバルク材3が固設されるとともに、シャフト16を介してコイル7が磁石6の中央部に位置するように固設されている。機器搭載台2の振動センサ4の出力信号は制御装置8に入力され、コイル7の制御電流を制御する。バルク材の磁化は磁場中冷却または零磁場冷却の後、磁場を印加する方法により行われ、磁石とバルク材との反発力により機器搭載台が浮上し、またコイルと磁石により微細振動を抑制するアクチュエータを形成するため、磁気浮上機構と振動抑制用のアクチュエータを一体化することができる。
請求項（抜粋）：
基台上に定盤を配置し、前記基台と前記定盤との間に振動絶縁手段を備えた振動絶縁装置において、前記基台上に支持部材を介して複数個の磁石を固設し、前記定盤の前記磁石と対向する位置に酸化物超電導物質よりなるバルク材を固設するとともに、前記磁石の中央部にシャフトを介して前記定盤の下部に固定されたコイルを配置し、前記定盤に配設された振動センサの出力信号により前記コイルに制御電流を供給する制御装置と、前記バルク材を液体窒素温度以下に保持する冷却手段を備えたことを特徴とする振動絶縁装置。
IPC (2件)：
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