特許

J-GLOBAL ID：200903095429786203

マイクロアクチュエータ

発明者： 水 野 智 公 ,  成 瀬 好 廣 ,  安 藤 充 宏 ,  中 島 尚 正
出願人/特許権者： アイシン精機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-152039
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346105
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【目的】 ピストン-シリンダー機構をマイクロ化する。【構成】 一端が密閉されたシリンダー2と、シリンダー内を往復動可能に配置されたロッド3を備え、ロッドの外周面の一部を流体に対してぬれ性を高く形成し、他の部分を流体に対してぬれ性を低く形成し、シリンダーとロッド間に流体1を注入し、密閉された側のシリンダーの空間の圧力を増減する圧力調整手段4,5を設けたマイクロアクチュエータ。

請求項（抜粋）：

一端が密閉されたシリンダー、シリンダー内を往復動可能に配置されたロッド、シリンダーとロッド間に注入された流体、前記密閉された側の空間圧力を増減する圧力調整手段、を備え、前記ロッドは、その外周面の一部が流体に対して濡れ性を高く形成され、他の部分が流体に対して濡れ性を低く形成されたことを特徴とするマイクロアクチュエータ。

IPC (4件)：

F15B 15/14 365 ,  F15B 15/14 345 ,  F16J 1/00 ,  F16J 10/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-113806
  
• 特公昭51-021523
  
• 特開昭60-065901