特許

J-GLOBAL ID：200903095431129120

感光性樹脂組成物、その製造方法及びそれを含むドライフィルムレジスト

発明者： ユン、イン-ホ ,  キム、ボン-ギ ,  ロ、チャン-ソク ,  カン、サン-キ ,  ビュン、キュン-ロク ,  パク、チャン-ソク
出願人/特許権者： 東進セミケム株式会社
代理人 (4件)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-341982
公開番号（公開出願番号）：特開2006-154825
出願日： 2005年11月28日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：

【課題】 従来の感光性樹脂組成物に比べて光に対する感度が優れていて、レーザーによる直接露光でマスクなく高解像度のパターン形成が可能なフォトレジスト用感光性組成物、その製造方法及びそれを含むドライフィルムレジストを提供する。【解決手段】 本発明は感光性樹脂組成物、その製造方法及びこれを含むドライフィルムレジストに関し、より詳しくは、a)アルカリ可溶性アクリレート樹脂、b)少なくとも2つのエチレン性二重結合を持つ架橋性モノマー、及びc)ホスフィンオキシド系光重合開始剤及びアクリドン系光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物、その製造方法及びそれを含むドライフィルムレジストに関する。

請求項（抜粋）：

a)アルカリ可溶性アクリレート樹脂と; b)少なくとも2つのエチレン性二重結合を持つ架橋性モノマーと; c)ホスフィンオキシド系光重合開始剤及びアクリドン系光重合開始剤とを含む感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/031 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  H01J 11/02 ,  C08F 2/50

FI (9件)：

G03F7/031 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/033 ,  G03F7/027 511 ,  G03F7/004 505 ,  G03F7/004 501 ,  H01J11/02 B ,  C08F2/50

Fターム (59件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC14 ,  2H025BC42 ,  2H025BC43 ,  2H025CA28 ,  2H025CA35 ,  2H025CB07 ,  2H025CB10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  2H025CC03 ,  2H025CC13 ,  2H025CC20 ,  2H025EA08 ,  2H025FA10 ,  2H025FA17 ,  4J011AC04 ,  4J011QA02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA08 ,  4J011QA09 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA17 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA34 ,  4J011QA35 ,  4J011QA42 ,  4J011SA61 ,  4J011SA78 ,  4J011SA84 ,  4J011WA01 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GF01 ,  5C040GF18 ,  5C040GF19 ,  5C040JA09 ,  5C040JA15 ,  5C040KA14 ,  5C040KA16 ,  5C040KA17 ,  5C040LA17 ,  5C040MA23 ,  5C040MA24