加速度センサおよびその検査方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-359258
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162412
出願日： 2000年11月27日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】カバーが取り付けられている状態でも撓み部の折損や反りを非接触で容易に検出する。【解決手段】支持枠11の内側に重り部12が配設され、重り12が支持枠11に対して可撓性を有する撓み部13を介して結合される。撓み部13にはピエゾ抵抗を有するゲージ抵抗15a〜15dが設けられ、支持枠11に対する重り部12の移動により撓み部13に生じる応力をゲージ抵抗15a〜15dにより検出する。重り部12には閉ループとなるコイルパターン5が形成される。コイルパターン5との間の電磁誘導を利用することにより、重り部12の変位を非接触、非破壊で検出することができる。

請求項（抜粋）：

支持枠の表裏に貫通する開口窓内に配置した重り部が可撓性を有する撓み部を介して支持枠に一体に連結され、かつ重り部への加速度の作用により撓み部に生じる応力を検出する歪検出素子が設けられたセンサ本体を有し、支持枠の表裏にそれぞれ前記開口窓を覆う一対のカバーを有し、前記重り部における一方のカバーとの対向面に閉ループであるコイルパターンが形成されていることを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/12 , G01P 21/00 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01P 15/12 , G01P 21/00 , H01L 29/84 A

Fターム (15件)：

4M112AA02 , 4M112BA01 , 4M112CA23 , 4M112CA25 , 4M112CA33 , 4M112CA36 , 4M112DA02 , 4M112DA10 , 4M112DA11 , 4M112DA12 , 4M112DA17 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112GA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

半導体加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-015823 出願人：日産自動車株式会社
特開昭62-105052
特開昭60-168055

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