特許
J-GLOBAL ID：200903095434657853
透光性物体の欠点検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-257234
公開番号（公開出願番号）：特開平7-113757
出願日： 1993年10月14日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：
【要約】【構成】透光性物体4の欠点による受光量の変化を、検出器1、2により検出する欠点検出方法である。透光性物体を走査し、透光性物体の表面に対し、角度が互いに異なる光軸上で、それぞれ欠点信号を検出し、検出した両欠点信号の時間より欠点の深さ方向の位置を検出する。【効果】欠点の位置を、基準位置よりの深さとして検出できるので、簡易に、確実に表面だけ、内部だけ、特定の深さだけといった透光性物体の検査可能である。
請求項（抜粋）：
透光性物体の欠点による受光量の変化を、検出器により欠点信号として検出する透光性物体の欠点検出方法において、透光性物体を走査し、透光性物体の表面に対し、角度が互いに異なる光軸上で、それぞれ欠点信号を検出し、検出した両欠点信号の時間より欠点の深さ方向の位置を検出することを特徴とする透光性物体の欠点検出方法。
IPC (2件)：
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