特許

J-GLOBAL ID：200903095438101043

プラズマスパッタリアクタに用いられる絶縁セラミックがコーティングされた金属部品

発明者： ウォン ホウゴン ,  ディン ペイジュン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-514305
公開番号（公開出願番号）：特表2001-518566
出願日： 1998年09月28日
公開日（公表日）： 2001年10月16日
要約：

【要約】特にプラズマスパッタリングリアクタにおける電気的に浮いているシールド用の支持体としての、プラズマリアクタにおいて使用するための絶縁部品である。この絶縁部品は、金属基材とセラミック絶縁体、例えばアルミナの部分表面のコーティングからなっている。好ましくは、このセラミックのこティングは熱スプレイによって堆積される。この絶縁部品は、部品のコーティングされない部分に設けられる、例えばネジのような取付け手段の使用によって、チャンバの他の金属部分に容易に固定される。この絶縁部品が第2の金属部分を支持するが、電気的に絶縁する絶縁体として用いられる場合、第2の金属部分は、セラミックコーティング上に載ると共に、絶縁部品は、チャンバの壁或いは他の金属支持部材にネジ止めされる。

請求項（抜粋）：

プラズマ処理リアクタであって、 電位を保持する金属部を有するプラズマリアクタと、 前記プラズマチャンバ内にプラズマを生成するための手段と、 それぞれヘッドを有する1以上の貫通取付け具によって前記金属部に固定可能な複合部品を有し、且つ前記複合部品は、 前記1以上の貫通取付け具がとおる1以上の孔を有し、且つ前記金属部と接触する第1の表面部分を有する金属基材と、 前記第1の表面部分以外の前記金属基材の第2の表面部分上に堆積された電気的絶縁セラミックコーティングを有し、前記第2の表面部分は、前記孔の1つの軸に関して前記第1の表面部分、及び前記貫通取付け具の前記ヘッドの下部と接触する1以上の平らな部分から前記金属基材の反対側に堆積され、前記平らな部分は前記セラミックコーティングによって覆われないことを特徴とするプラズマ処理リアクタ。

IPC (6件)：

C23C 14/34 ,  H01J 37/32 ,  H01J 37/34 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285 ,  H05H 1/46

FI (6件)：

C23C 14/34 C ,  H01J 37/32 ,  H01J 37/34 ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/285 S ,  H05H 1/46 M