特許

J-GLOBAL ID：200903095438449961

空間像計測方法、結像特性計測方法、空間像計測装置及び露光装置

発明者： 萩原 恒幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-216868
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014005
出願日： 2000年07月18日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】 十分な精度で空間像を計測することを可能にする。【解決手段】 空間像計測器59のスリット板90には、計測方向(X軸方向)の幅が(波長λ/投影光学系の開口数N.A.)以下でY軸方向に伸びるスリット22が形成されている。このため、照明光ILによって所定のパターンPMが照明され、該パターンの空間像が投影光学系PLを介して像面上に形成された状態で、上記空間像に対してスリット板90がX軸方向に走査されると、その走査中にスリット22を透過した光が光電変換素子24で光電変換され、その光電変換信号(空間像の光強度に対応する信号)が出力される。そして、この光電変換信号に基づいて制御装置により空間像に対応する光強度分布が計測される。この場合、スリット22の幅が(λ/N.A.)以下とされているため、実用上十分な、高い精度で空間像を計測することができる。

請求項（抜粋）：

投影光学系によって形成される所定のパターンの空間像を計測する空間像計測方法であって、照明光によって前記パターンを照明し、該パターンの空間像を前記投影光学系を介して像面上に形成する工程と;前記投影光学系の光軸に垂直な2次元平面内で第1方向に延びるとともに、これに垂直な前記2次元平面内の第2方向の幅が前記照明光の波長λを考慮して定められた少なくとも1つのスリットを有するスリット板を前記像面近傍の前記2次元平面内で前記第2方向に走査するとともに、前記スリットを透過した前記照明光を光電変換して前記スリットを透過した前記照明光の強度に応じた光電変換信号を得る工程と;を含む空間像計測方法。

IPC (4件)：

G01M 11/02 ,  G01B 11/00 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

G01M 11/02 A ,  G01M 11/02 B ,  G01B 11/00 C ,  G01B 11/00 B ,  G01B 11/00 Z ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 525 R

Fターム (30件)：

2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA07 ,  2F065CC20 ,  2F065DD04 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065GG04 ,  2F065HH06 ,  2F065HH13 ,  2F065LL01 ,  2F065LL28 ,  2F065LL63 ,  2F065MM24 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ41 ,  2F065UU01 ,  2F065UU02 ,  2F065UU05 ,  2G086HH05 ,  2G086HH07 ,  5F046BA03 ,  5F046DB05 ,  5F046DB08 ,  5F046FA09 ,  5F046FA16 ,  5F046FB14 ,  5F046FB16