特許
J-GLOBAL ID：200903095447687476
移替装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-250579
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090388
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 拡散炉の稼動率を大幅に向上させ且つカセットの投入、払い出しの自動化が可能な移替装置を提供する。【構成】 半導体ウエハ2を収納するカセット1を少なくとも半導体ウエハ2の1回分の処理量が収納可能な個数だけ載置でき且つ外部搬送機器とカセット1の授受を行うカセットステージ8と、カセット1を複数個収納可能なストッカー9と、このストッカー9と1回分の処理量だけ半導体ウエハ12を収納し拡散炉6内に導く熱処理用ボート4との間に配設され少なくとも2個のカセット1が載置可能な移替ステージ11と、カセットステージ8上のカセット1をストッカー9に搬送する第1の搬送ロボット10と、ストッカー9内のカセット1を移替ステージ11に搬送する第2の搬送ロボット12と、移替ステージ11上のカセット1内から熱処理用ボート4内に半導体ウエハ2を移し替える移替機13とを備える。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハを収納するカセットを少なくとも半導体ウエハ1回分の処理量が収納可能な個数だけ載置でき且つ外部搬送機器と上記カセットの授受を行うカセットステージと、上記カセットを複数個収納可能なストッカーと、このストッカーと1回分の処理量だけ上記半導体ウエハを収納し処理炉内に導く処理用ボートとの間に配設され少なくとも2個の上記カセットが載置可能な移替ステージと、上記カセットステージ上の上記カセットを上記ストッカーに搬送する第1のカセット搬送手段と、上記ストッカー内の上記カセットを上記移替ステージに搬送する第2のカセット搬送手段と、上記移替ステージ上の上記カセット内から上記処理用ボート内に上記半導体ウエハを移し替えるウエハ移替手段とを備えたことを特徴とする移替装置。
IPC (2件)：
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