特許

J-GLOBAL ID：200903095455057457

シャドウマスクの欠陥検査方法及び装置

発明者： 三橋 光幸 ,  小林 隆之 ,  斎藤 純一
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-251084
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094758
出願日： 1997年09月16日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】 シャドウマスクの欠陥を人手によらずに高精度に検出することが可能であり、形状欠陥及びムラ・シミ欠陥を容易に検出する。【解決手段】 検査対象であるシャドウマスク1が基台2に固定され、拡散板3を介して光源4より光が照射されると、CCDカメラ6は、これら多数の孔11を順次撮像する。このCCDカメラ6により生成される撮像信号は、処理装置7に送出される。処理装置7は、この撮像信号から孔11の信号を抽出する。更に、処理装置7では、抽出された孔信号を用いて欠陥検出・判定処理が実行される。この欠陥検出・判定処理は、シャドウマスク1に形成されている全ての孔11に対して実行され、この後全体動作は完了する。

請求項（抜粋）：

シャドウマスクに光を照射する工程と、光が照射された前記シャドウマスクを撮像し、階調を示す撮像信号を生成する工程と、前記撮像信号から、前記シャドウマスクに設けられている複数の孔の孔端部を含む信号を抽出する工程と、前記抽出された信号から欠陥有無を判定する工程とを具備することを特徴とする欠陥検査方法。

IPC (5件)：

G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  H01J 9/14 ,  H01J 9/42 ,  H04N 7/18

FI (5件)：

G01N 21/88 E ,  H01J 9/14 G ,  H01J 9/42 A ,  H04N 7/18 B ,  G06F 15/62 400