特許
J-GLOBAL ID:200903095460682319

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三好 秀和 (外1名)
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2000006353
公開番号(公開出願番号):WO2001-022165
出願日: 2000年09月18日
公開日(公表日): 2001年03月29日
要約:
【要約】(A)バインダーポリマー、(B1)分子内に少なくとも1つの重合可能な環状エーテル基を有する光重合性化合物及び(C1)光酸発生剤を含有してなる感光性樹脂組成物、(A)バインダーポリマー、(B2)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び(C1)光酸発生剤を含有してなる感光性樹脂組成物、及び、(A)バインダーポリマー、(B1)分子内に少なくとも1つの重合可能な環状エーテル基を有する光重合性化合物、(B2)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び(C2)ラジカル重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物を開示する。また、その感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法、プリント配線板の製造法も開示する。
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマー、(B1)分子内に少なくとも1つの重合可能な環状エーテル基を有する光重合性化合物及び(C1)光酸発生剤を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F 7/027 515 ,  C08L 33/14 ,  G03F 7/029 ,  H05K 3/00
FI (4件):
G03F 7/027 515 ,  C08L 33/14 ,  G03F 7/029 ,  H05K 3/00 F

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